FHR Anlagenbau GmbH

Am Hügel 2 , 01458 Ottendorf-Okrilla
Deutschland

Telefon +49 35205 520-0
Fax +49 35205 520-40
postbox@fhr.de

Messehalle

  • Halle 11 / G20
 Interaktiver Hallenplan

Hallenplan

glasstec 2016 Hallenplan (Halle 11): Stand G20

Geländeplan

glasstec 2016 Geländeplan: Halle 11

Unser Angebot

Produktkategorien

  • 01  Glasherstellung/Produktionstechnik
  • 01.14  Photovoltaikherstellung / Produktionstechnik
  • 01.14.02  Modulfertigung
  • 01.14.02.02  Beschichtung/Sputtering Anlagen

Beschichtung/Sputtering Anlagen

  • 02  Glasbearbeitung und Veredelung
  • 02.06  Beschichtungstechnik
  • 02.06.01  Vakuum-Beschichtungsanlagen
  • 02  Glasbearbeitung und Veredelung
  • 02.06  Beschichtungstechnik
  • 02.06.08  Sputtertargets für die Flachglasbeschichtung

Sputtertargets für die Flachglasbeschichtung

Unsere Produkte

Produktkategorie: Vakuum-Beschichtungsanlagen

FHR.Boxx-Produktreihe

Einkammer-Sputteranlagen für die Kleinserien-Produktion
- Geeignet für kleinflächige Substrate bis etwa 100 x 100 mm
- Magnetron-Sputtern von Mehrschicht-Systemen
- Substratvorbehandlung mittels Plasmaätzen

Einkammer-Sputteranlagen bieten sich als preiswerte Lösung für das Vakuumbeschichten in der Kleinserien-Produktion. Die auch Boxcoater genannten Sputtersysteme unserer FHR.Boxx-Produktreihe kommen ohne Schleusenkammer aus, die Subtratbestückung erfolgt direkt bei geöffneter Prozesskammer. Als Substratträger fungiert im Rezipienten eine sich drehende Trommel, die gegebenenfalls auch für das Heizen oder Kühlen der zumeist kleinflächigen Substrate eingesetzt werden kann. Durch Trommelrotation während des Vakuumprozesses können die zu beschichtenden Substrate an mehreren Sputterstationen vorbeigeführt werden. Insgesamt wird dabei eine gute Schichtdickenhomogenität erreicht. Auch eine Substratvorbehandlung bspw. mittels Plasmaätzen ist möglich.
 
Auswahl integrierbarer Prozesstechnologien
- Magnetron-Sputtern
- Plasma-Ätzen (PE)
 
Typische Anwendungen für Boxcoater
- Funktionale Beschichtungen für Sensoren
- Optischen Beschichtungen auf Leuchtmitteln
- Dekorative Beschichtungen

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Produktkategorie: Vakuum-Beschichtungsanlagen

FHR.Roll.XXX-Produktfamilie

Rolle-zu-Rolle-Anlagen von FHR
 
Folienbeschichter für die flexible Elektronik und neuartige OLED-Displays
- Hochpräzisions-Bandlaufwerke mit Individualsteuerung
- In-situ-Prozessmesstechnik integrierbar
- Herstellung flexibler Dünnschicht-Solarzellen

Moderne Elektronik ist biegsam. Für die Herstellung flexibler Solarzellen, organischer Displayfolien oder biegsamer Sensoren beispielsweise bieten wir mit unseren Rolle-zu-Rolle-Beschichtungsanlagen das passende Anlagenkonzept. Als Substratmaterialien werden Metall- und Plasikfolien eingesetzt, die Beschichtungsbreite ist individuell. Das Konzept bietet höchste Flexibilität in den Verfahrensbereichen Sputtern und Bedampfen. Ein frei programmierbares Bandlaufwerk und eine Regelung der Substrattemperatur ermöglichen das Prozessieren unterschiedlicher Substratmaterialien und Foliendicken in einem weiten Prozessfenster. Dazu verfügen wir über Know-how zur Integration von In-situ-Prozessmesstechnik und abgeleitete Online-Prozesssteuerungen.
 
Auswahl integrierbarer Prozesstechnologien
- Magnetron-Sputtern (Kathodenzerstäubung)
- Thermisches Bedampfen
- Plasma-Ätzen (PE)
 
Typische Anwendungen für Rolle-zu-Rolle-Anlagen
- Fotovoltaik
- OLED-Displays
- Sensorik
- Verpackungsfolien

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Produktkategorie: Sputtertargets für die Flachglasbeschichtung

Sputtertargets und Bond-Service

Sputtertargets sind Ausrüstungs- und Verbrauchsmaterialen in Vakuumbeschichtungsanlagen. Wir liefern Rohr-Sputtertargets bis 4.000 mm Länge, Planartargets bis 4,000 mm Länge oder 800 mm Durchmesser. Planartargets bieten wir Ihnen optional gebondet auf Kühlplatten- oder Kühlkörper.
 
- Rohr-Sputtertargets für die Großflächenbeschichtung: ITO, Mo, Al, Si ...
- Sputtertargets für die Dünnschicht-Photovoltaik: Cu, In, Ga, Si, AZO ...
- Sputtertargets für optische Beschichtungen: SiO2, TiO2 ...
- Tagetmaterialien für Halbleiter: Cu, Si, SiO2 ...
 

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Über uns

Firmenporträt

Pioneer Engineering in Thin-Film Technologies

Die FHR Anlagenbau GmbH ist ein innovatives Unternehmen im Bereich der Vakuumprozesstechnologie und des Sonderanlagenbaus. Eine Gruppe Dresdener Ingenieure mit langjähriger persönlicher Erfahrung in der Dünnschichttechnik gründete 1991 das Unternehmen mit dem Ziel, moderne Schichttechnologien in maßgeschneiderte Anlagenkonzepte umzusetzen.
Die FHR Anlagenbau GmbH hat sich seither zu einem anerkannten und erfolgreichen Vakuumprozessanlagenbauer entwickelt mit weltweitem Kundenkreis in Forschung und Industrie.
Die FHR Anlagenbau GmbH beschäftigt heute 165 Mitarbeiter am Standort Ottendorf-Okrilla und ist seit 2008 eine 100-prozentige Tochter der centrotherm photovoltaics AG, eines international führenden Anbieters von Technologie und Dienstleistungen für die Herstellung von Solarzellen und Solarsilizium.

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Unternehmensdaten

Zielgruppen

Herstellung, Bearbeitung und Veredelung