FHR Anlagenbau GmbH

Am Hügel 2, 01458 Ottendorf-Okrilla
Deutschland
Telefon +49 35205 520-0
Fax +49 35205 520-40
postbox@fhr.de

Hallenplan

glasstec 2018 Hallenplan (Halle 11): Stand G19

Geländeplan

glasstec 2018 Geländeplan: Halle 11

Ansprechpartner

Michael Schneider

Head of Marketing

Unser Angebot

Produktkategorien

  • 01  Glasherstellung/Produktionstechnik
  • 01.14  Photovoltaikherstellung/Produktionstechnik
  • 01.14.02  Modulfertigung
  • 01.14.02.02  Beschichtung/Sputtering Anlagen
  • 02  Glasbearbeitung und Veredelung
  • 02.06  Beschichtungstechnik
  • 02.06.01  Vakuum-Beschichtungsanlagen
  • 04  Werkzeuge, Ersatzteile und Verschleißteile, Hilfsmittel, Ausrüstung
  • 04.03  Oberflächenbehandlung, Druck-/Beschichtungs-/Klebetechnik
  • 04.03.05  Sputtertargets für die Flachglasbeschichtung

Sputtertargets für die Flachglasbeschichtung

Unsere Produkte

Produktkategorie: Beschichtung/Sputtering Anlagen, Vakuum-Beschichtungsanlagen

FHR.Line-Produkt­reihe

Ferti­gungs­straßen für die indus­trielle Produktion, hochpro­duktive Pilot­linien oder Anlagen für Forschung und Entwicklung

Linearer oder oszillierender Substrattransport wählbar
Gleichzeitiges Beschichten der Front- und Rückseite möglich
Vielfältige Prozesstechnologien integrierbar
Vertikale und horizontale Konzepte verfügbar

Inline-Kon­zepte sind die rich­tige Ant­wort für hoch­pro­duk­ti­ves Magne­tron-Sput­tern, ther­mi­sches Bedamp­fen oder PECVD-Beschich­ten jeg­li­cher flä­chi­ger Sub­strate. Wir bie­ten indi­vi­du­ell auf Ihre Sub­strat­größe zuge­schnit­tene Inline-Vaku­um­be­schich­tungs­lö­sun­gen mit hori­zon­ta­ler oder ver­ti­ka­ler Sub­strat­lage. Eine Sub­strat­vor­be­hand­lung durch Hei­zen oder Ätzen sowie eine voll­au­to­ma­ti­sche Bestü­ckung kön­nen von uns kun­den­spe­zi­fisch inte­griert wer­den. Als hoch­pro­duk­tive Durch­lauf­an­la­gen mit kon­stan­tem Pro­dukt oder als Pen­del­an­la­gen mit hoher Fle­xi­bi­li­tät dank wech­sel­ba­rer Tar­gets sind Inline-Anla­gen breit ein­setz­bar.

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Produktkategorie: Beschichtung/Sputtering Anlagen, Vakuum-Beschichtungsanlagen, Sputtertargets für die Flachglasbeschichtung

FHR.Roll-Produkt­reihe

Folien­be­schichter für flexible Elektronik und Dünnschicht­so­lar­zellen in Forschung und Produktion

Feinmechanische Präzisions-Wickel mit Bahnkantenführung
Herstellung formflexibler Dünnschicht-Solarzellen, Wärmeschutzfolien und Leiterplatten
AVOtouch-Technik für berührungsfreie Frontseitenbeschichtung
Geeignet für tragbare, leichtgewichtige und biegsame Anwendungen

Moderne Elek­tro­nik ist bieg­sam. Für die Her­stel­lung fle­xi­bler Solar­zel­len, orga­ni­scher Dis­play­fo­lien oder bieg­sa­mer Sen­so­ren bei­spiels­weise bie­ten wir mit unse­ren Rolle-zu-Rolle-Vaku­um­be­schich­tungs­an­la­gen mit PVD- und PECVD-Tech­no­lo­gie das pas­sende Anla­gen­kon­zept. Als Sub­strat­ma­te­ria­lien wer­den Metall- und Plas­tik­fo­lien ein­ge­setzt, die Beschich­tungs­breite ist indi­vi­du­ell. Das Anla­gen­kon­zept bie­tet höchste Fle­xi­bi­li­tät in den Ver­fah­rens­be­rei­chen Sput­tern und Bedamp­fen. Ein frei pro­gram­mier­ba­res Band­lauf­werk und eine Rege­lung der Sub­strat­tem­pe­ra­tur ermög­li­chen das Pro­zes­sie­ren unter­schied­li­cher Sub­strat­ma­te­ria­lien und Foli­en­di­cken in einem wei­ten Pro­zess­fens­ter. Dazu ver­fü­gen wir über Know-How zur Inte­gra­tion von In-situ-Pro­zess­mess­tech­nik und abge­lei­te­ten Online-Pro­zess­steue­run­gen.

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Produktkategorie: Beschichtung/Sputtering Anlagen, Vakuum-Beschichtungsanlagen, Sputtertargets für die Flachglasbeschichtung

FHR.Star-Produkt­reihe

Prozess­an­lagen für wafer­ähn­liche Substrate für das Abscheiden, Abtragen und Modifi­zieren dünner Schichten bei Klein­serien, Pilot­pro­duk­tionen oder in Forschung und Entwicklung

Auf einem flexiblen Modulkonzept basierend
Vielfältige technologische Verfahren integrierbar
Standard für das Prozessieren von Halbleiter-Wafern

Höchste Fle­xi­bi­li­tät in der Aus­stat­tung mit Pro­zess­kam­mern und der Sub­strat­hand­ha­bung all­ge­mein machen unsere Vaku­um­pro­zess­an­la­gen der FHR.Star-Pro­dukt­reihe zur ers­ten Wahl für F&E-Anwen­dun­gen im High-Tech-Bereich. Über­dies gel­ten diese Vaku­um­pro­zess­sys­teme mit soge­nann­tem Clus­ter-Kon­zept als Stan­dard für Lösun­gen in der Mikro­elek­tro­nik und für wafer­ähn­li­che Sub­strate. Sie haben die Wahl: Oft­mals kön­nen wir Ihnen bereits eine erprobte Modul­lö­sung zum gewünsch­ten Vaku­um­ver­fah­ren und Sub­strat­durch­mes­ser anbie­ten. Oder aber wir ent­wi­ckeln mit Ihnen gemein­sam Ihre indi­vi­du­elle Wunsch­kon­fi­gu­ra­tion.

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Über uns

Firmenporträt

Founded in 1991, FHR Anlagenbau GmbH provides customized vacuum coating equipment and sputter targets as well as coating and equipment services from a single expert source.

We support our customers in close contact starting from process development via R&D scale to mass production. Our portfolio combines technologies as sputtering, evaporation, PECVD and ALD with the tool types cluster, inline, roll-to-roll and box. Based in Germany, with tools installed worldwide in various branches such as semiconductor, MEMS, electronic, sensor, optic, display, photovoltaic and more industries, we are ready to support you wherever you want to go.

The Thin Film Company

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Unternehmensdaten

Anzahl der Beschäftigten

101-500

Gründungsjahr

1991