FHR Anlagenbau GmbH

Am Hügel 2, 01458 Ottendorf-Okrilla
Deutschland
Telefon +49 35205 520-0
Fax +49 35205 520-40
messe@fhr.de

Hallenplan

glasstec 2018 Hallenplan (Halle 11): Stand G19

Geländeplan

glasstec 2018 Geländeplan: Halle 11

Ansprechpartner

Dr. Bontscho Bontschew

Senior Sales Manager

Telefon
+49 171 6797566

E-Mail
bontscho.bontschew@fhr.de

Marian Böhling

Head of Sput­te­ring Tar­gets & Coa­ting Ser­vice

Telefon
+49 151 19307819

E-Mail
marian.boehling@fhr.de

Unser Angebot

Produktkategorien

  • 01  Glasherstellung/Produktionstechnik
  • 01.14  Photovoltaikherstellung/Produktionstechnik
  • 01.14.02  Modulfertigung
  • 01.14.02.02  Beschichtung/Sputtering Anlagen
  • 02  Glasbearbeitung und Veredelung
  • 02.06  Beschichtungstechnik
  • 02.06.01  Vakuum-Beschichtungsanlagen
  • 04  Werkzeuge, Ersatzteile und Verschleißteile, Hilfsmittel, Ausrüstung
  • 04.03  Oberflächenbehandlung, Druck-/Beschichtungs-/Klebetechnik
  • 04.03.05  Sputtertargets für die Flachglasbeschichtung

Sputtertargets für die Flachglasbeschichtung

Unsere Produkte

Produktkategorie: Beschichtung/Sputtering Anlagen, Vakuum-Beschichtungsanlagen

FHR.Line-Produkt­reihe

Ferti­gungs­straßen für die indus­trielle Produktion, hochpro­duktive Pilot­linien oder Anlagen für Forschung und Entwicklung

- Linearer oder oszillierender Substrattransport wählbar
- Gleichzeitiges Beschichten der Front- und Rückseite möglich
- Vielfältige Prozesstechnologien integrierbar
- Vertikale und horizontale Konzepte verfügbar

Inline-Kon­zepte sind die rich­tige Ant­wort für hoch­pro­duk­ti­ves Magne­tron-Sput­tern, ther­mi­sches Bedamp­fen oder PECVD-Beschich­ten jeg­li­cher flä­chi­ger Sub­strate. Wir bie­ten indi­vi­du­ell auf Ihre Sub­strat­größe zuge­schnit­tene Inline-Vaku­um­be­schich­tungs­lö­sun­gen mit hori­zon­ta­ler oder ver­ti­ka­ler Sub­strat­lage. Eine Sub­strat­vor­be­hand­lung durch Hei­zen oder Ätzen sowie eine voll­au­to­ma­ti­sche Bestü­ckung kön­nen von uns kun­den­spe­zi­fisch inte­griert wer­den. Als hoch­pro­duk­tive Durch­lauf­an­la­gen mit kon­stan­tem Pro­dukt oder als Pen­del­an­la­gen mit hoher Fle­xi­bi­li­tät dank wech­sel­ba­rer Tar­gets sind Inline-Anla­gen breit ein­setz­bar.

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Produktkategorie: Beschichtung/Sputtering Anlagen, Vakuum-Beschichtungsanlagen

FHR.Roll-Produkt­reihe

Folien­be­schichter für flexible Elektronik und Dünnschicht­so­lar­zellen in Forschung und Produktion

- Feinmechanische Präzisions-Wickel mit Bahnkantenführung
- Herstellung formflexibler Dünnschicht-Solarzellen, Wärmeschutzfolien und Leiterplatten
- AVOtouch-Technik für berührungsfreie Frontseitenbeschichtung
- Geeignet für tragbare, leichtgewichtige und biegsame Anwendungen

Moderne Elek­tro­nik ist bieg­sam. Für die Her­stel­lung fle­xi­bler Solar­zel­len, orga­ni­scher Dis­play­fo­lien oder bieg­sa­mer Sen­so­ren bei­spiels­weise bie­ten wir mit unse­ren Rolle-zu-Rolle-Vaku­um­be­schich­tungs­an­la­gen mit PVD- und PECVD-Tech­no­lo­gie das pas­sende Anla­gen­kon­zept. Als Sub­strat­ma­te­ria­lien wer­den Metall- und Plas­tik­fo­lien ein­ge­setzt, die Beschich­tungs­breite ist indi­vi­du­ell. Das Anla­gen­kon­zept bie­tet höchste Fle­xi­bi­li­tät in den Ver­fah­rens­be­rei­chen Sput­tern und Bedamp­fen. Ein frei pro­gram­mier­ba­res Band­lauf­werk und eine Rege­lung der Sub­strat­tem­pe­ra­tur ermög­li­chen das Pro­zes­sie­ren unter­schied­li­cher Sub­strat­ma­te­ria­lien und Foli­en­di­cken in einem wei­ten Pro­zess­fens­ter. Dazu ver­fü­gen wir über Know-How zur Inte­gra­tion von In-situ-Pro­zess­mess­tech­nik und abge­lei­te­ten Online-Pro­zess­steue­run­gen.

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Produktkategorie: Beschichtung/Sputtering Anlagen, Vakuum-Beschichtungsanlagen

FHR.Star-Produkt­reihe

Prozess­an­lagen für wafer­ähn­liche Substrate für das Abscheiden, Abtragen und Modifi­zieren dünner Schichten bei Klein­serien, Pilot­pro­duk­tionen oder in Forschung und Entwicklung

- Auf einem flexiblen Modulkonzept basierend
- Vielfältige technologische Verfahren integrierbar
- Standard für das Prozessieren von Halbleiter-Wafern

Höchste Fle­xi­bi­li­tät in der Aus­stat­tung mit Pro­zess­kam­mern und der Sub­strat­hand­ha­bung all­ge­mein machen unsere Vaku­um­pro­zess­an­la­gen der FHR.Star-Pro­dukt­reihe zur ers­ten Wahl für F&E-Anwen­dun­gen im High-Tech-Bereich. Über­dies gel­ten diese Vaku­um­pro­zess­sys­teme mit soge­nann­tem Clus­ter-Kon­zept als Stan­dard für Lösun­gen in der Mikro­elek­tro­nik und für wafer­ähn­li­che Sub­strate. Sie haben die Wahl: Oft­mals kön­nen wir Ihnen bereits eine erprobte Modul­lö­sung zum gewünsch­ten Vaku­um­ver­fah­ren und Sub­strat­durch­mes­ser anbie­ten. Oder aber wir ent­wi­ckeln mit Ihnen gemein­sam Ihre indi­vi­du­elle Wunsch­kon­fi­gu­ra­tion.

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Produktkategorie: Sputtertargets für die Flachglasbeschichtung

FHR.Sputtertargets

Ihr Partner für alles rund um Targets
Beratung, Fertigung und Recycling aus einer Hand

Wir bie­ten Ihnen eine umfang­rei­che Palette an Tar­get- und Beschich­tungs­ma­te­ria­lien, in allen For­men, Grö­ßen und Zusam­men­set­zun­gen. Bei allen The­men rund um Beschich­tungs­ma­te­ria­lien kön­nen Sie sich an uns wen­den. Nach einer fun­dier­ten Bera­tung zur tech­ni­schen und wirt­schaft­li­chen Mach­bar­keit Ihres Anlie­gens küm­mern wir uns für Sie um fol­gende Dienst­leis­tun­gen:

- Herstellung und Entwicklung von Beschichtungsmaterialien
- Entbonden alter Targets
- Bonden neuer Targets

Beratung zum optimalen DesignEntwicklung und Fertigung von Kühlkörpern und Rückplatten
Recycling von werthaltigen Materialien oder Entsorgung des Restmaterials
Bei alle­dem haben wir den Anspruch, neben Groß­se­rien auch Anfra­gen zu Ein­zel­stü­cken und Tar­gets mit aus­ge­fal­le­nem Design zu bedie­nen. Wir freuen uns auf Ihre Kon­takt­auf­nahme!

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Über uns

Firmenporträt

Die FHR Anlagenbau GmbH wurde 1991 gegründet und bietet sowohl maßgeschneiderte Vakuumbeschichtungsanlagen und Sputtertargets als auch Beschichtungs- und Anlagenservice aus einer Hand.

Die enge Zusammenarbeit mit unseren Kunden beginnt mit der Prozessentwicklung und setzt sich über die Entwicklung von Pilotanlagen fort bis hin zur Serienfertigung oder Massenproduktion. Unser Portfolio integriert die Technologien Sputtern, Bedampfen, PECVD und ALD in die Maschinentypen Cluster, Inline, Rolle-zu-Rolle und Box. Mit Sitz in Deutschland und weltweit installierten Anlagen in den verschiedenen Branchen wie Halbleiter, MEMS, Elektronik, Sensorik, Optik, Photovoltaik etc. finden wir gemeinsam Ihre Vakuumbeschichtungslösung.

The Thin Film Company

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Unternehmensdaten

Anzahl der Beschäftigten

101-500

Gründungsjahr

1991