Ätze (Nass/Trocken)
Produktkategorie: Ätze (Nass/Trocken)
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Einseitige Oxid-Ätzung
Die automatische Verarbeitungsanlage RENA InEtchSide wurde für die einseitige Entfernung von Siliziumoxid-Schichten und dotiertem Glas (z. B. PSG oder BSG) entwickelt. Dies kann bei der Herstellung hocheffizienter Zellenkonzepte zum Einsatz kommen, u. a. bei der einseitige Oxid-Ätzung mittels Fluorwasserstoffsäure (HF). Die Anlage wurde auf Grundlage der RENA NIAK Inline-Plattform entwickelt.
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Willkommen bei RENA
RENA ist ein weltweit führender Hersteller für Produktionsmaschinen zur nasschemischen Oberflächenbehandlung. Weltweit setzen Unternehmen unsere Produkte erfolgreich in den Branchen Halbleiter, MedTech, Glas, Additive Manufacturing und Erneuerbare Energien ein.
Neben standardisierten Maschinen mit garantierten Prozessen stellen wir kundenindividuell konfigurierte Produktionsumgebungen her. Unsere Kunden schätzen den zuverlässigen, weltweit erreichbaren Service über die gesamte Produktlebenszeit und darüber hinaus.